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Titelseite und Inhaltsverzeichnis
1. Einleitung
2. Physikalisches Modell
2.1 Metall-Halbleiter Kontakt (Schottky-Barriere)
2.2 Innere Photoemission
2.2.1 Fowler Modell
2.2.2 Streuprozesse im Metallfilm
2.2.3 Monte - Carlo - Methode
3. Experimentelles Vorgehen
3.1 Meßaufbau
3.2 Kalibrierung
3.3 Probenherstellung
3.3.1 Substrate
3.3.2 Filmdeposition
3.3.3 Rückkontakte
4. Optische Eigenschaften
4.1 Theoretische Grundlagen
4.2 Optische Ergebnisse an Au/Si
4.2.1 Reflexionsspektrum R(hn,d) und Schichtdickenbestimmung
4.2.2 Transmissionsvermögen Tr(hn,d)
4.2.3 Absorptionsvermögen A(hn,d)
4.3 Absorptionsvermögen von CoSi2/Si
5. Photoelektrische Eigenschaften
5.1 Au/n-Si
5.1.1 Innere Quantenausbeute Y(hn,d)
5.1.2 Bestimmung der Fowlerbarriere EFB
5.1.3 Emissionskoeffizient C0
5.2 Au/p-Si
5.3 CoSi2/n-Si
6. Diskussion
6.1 Erhöhtes Absorptionsvermögen A(d) dünner Au/Si Filme (optical-size effe
ct)
6.2 Einfluß der Trägerstreuung auf den Emissionkoeffizienten C0(d)
6.3 Bestimmung der Barrierenenergie EB
7. Zusammenfassung
8. Literatur
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