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FU Berlin
Digitale Dissertation

Olaf Hahneiser :
Numeric Simulation and Measuring of Microwave Reflexion on Crystal Silicium
Numerische Simulation und Messung der Mikrowellenreflexion an kristallinem Silizicum

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Abstract

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Titelseite und Inhaltsverzeichnis
1. Einleitung
2. Mikrowellenmeßtechnik
2.1 Ausbreitung der Mikrowellen
2.2 Mikrowellenreflexion
2.3 TRMC-Methode
2.4 FRMC-Methode
3. Siliziumoberfläche
3.1 Passivierung
3.2 Modell der Grenzfläche
3.3 Oberflächenrekombinationsgeschwindigkeit
4. Simulationsmodell
4.1 Halbleiter-Grundgleichungen
4.2 Modellierung des Volumens
4.3 Modellierung der Oberfläche
4.4 Randbedingungen
4.5 Lösen der Grundgleichungen
4.6 Wahl der Parameter
5. Meßergebnisse und Diskussion
5.1 n-dotiertes Silizium
5.2 p-dotiertes Silizium
6. Zusammenfassung
7. Anhang
7.1 Literaturverzeichnis
7.2 Symbolverzeichnis
7.3 Danksagung
7.4 Lebenslauf

More Information:

Online available: http://darwin.inf.fu-berlin.de/1998/8/indexe.html
Language of PhDThesis: german
DNB-Sachgruppe: 29 Physik, Astronomie
Date of disputation: 30-Jun-98
PhDThesis from: Department Physik, Freie Universität Berlin
First Referee: Prof. Dr. William Brewer
Second Referee: Prof. Dr. D. Bräunig (TU Berlin)
Contact (Advisor): brewer@physik.fu-berlin.de
Date created:09-Dec-98
Date available:23-Jun-99

 


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