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FU Berlin
Digitale Dissertation

Iris Sandra Retzko :
Pulsplasmapolymerisation von Acetylen, Ethylen, 1,3-Butadien und Styrol:
Spektroskopische Charakterisierung, Alkalimetalldotierung und elektrische Leitfähigkeit der dünnen Schichten
Pulse Plasma Polymerization of Acetylene, Ethylene, 1,3-Butadiene and Styrene:

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Zusammenfassung

Retzko, Iris: Pulsplasmapolymerisation von Acetylen, Ethylen, 1,3-Butadien und Styrol: Spektroskopische Charakterisierung, Alkalimetalldotierung und elektrische Leitfähigkeit der dünnen Schichten Organische dünne Filme mit definierten chemischen Strukturen und physikalischen Eigenschaften werden für zahlreiche Anwendungen in Gebieten wie z.B. Elektronik, Optik oder Medizintechnik benötigt. Die Plasmapolymerisation ist von besonderem technologischem Interesse, da dünne Plasmapolymerfilme auf jedem Material von beliebiger Geometrie in der gewünschten Schichtdicke abgeschieden werden können. In dieser Arbeit wird ein zeitlich asymmetrisch gepulstes RF Plasma eingesetzt, um Filme mit Schichtdicken im nm-Bereich abzuscheiden. Die Abscheideraten der Plasmaprozesse werden mit Hilfe einer Schwingquarzwaage ermittelt. Die chemische Struktur von plasmapolymerisiertem Acetylen, Ethylen, 1,3-Butadien und Styrol wird mit den spektroskopischen Methoden XPS, NEXAFS, UV/Vis, FTIR und TOF-SIMS untersucht. Auf der Grundlage der Abscheideraten und der spektroskopischen Daten wird der Polymerisationsmechanismus diskutiert. Da die Plasmapolymere eine hinreichend hohe Konzentration an ungesättigten Bindungen enthalten, soll nach reduktiver Dotierung eine elektrische Leitfähigkeit erzielt werden. Dazu werden die Alkalimetalle Lithium, Natrium und Kalium simultan zur Plasmapolymerisation der Monomere Acetylen, Ethylen, 1,3-Butadien und Styrol verdampft. Die alkalimetalldotierten Plasmapolymere werden mittels XPS und TOF-SIMS untersucht, um Informationen zum chemischen Aufbau der Organometall-Spezies zu erhalten. Der spezifische elektrische Widerstand der undotierten und dotierten Plasmapolymere wird in Abhängigkeit von der Frequenz gemessen. Der Einbau von atmosphärischem Sauerstoff in Plasmapolymerschichten, die Luftkontakt hatten, wird erörtert. Radikale, die im Plasmapolymer eingeschlossen sind, werden als signifikante Ursache für die Post-Plasma-Oxidation gesehen.

Inhaltsverzeichnis

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Titelblatt

Gutachter

1. Einleitung

2. Theoretische Grundlagen

3. Experimenteller Teil

4. Methoden der Charakterisierung

5. Charakterisierung der undotierten Plasmapolymere

6. Charakterisierung der alkalimetalldotierten Plasmapolymere

7. Elektrische Leitfähigkeit der Plasmapolymere

8. Zusammenfassung der Ergebnisse und Ausblick

9. Literaturverzeichnis


Ergänzende Angaben:

Online-Adresse: http://www.diss.fu-berlin.de/2001/133/index.html
Sprache: Deutsch
Keywords: Plasma Polymerization, Alkali-Metall-Doping, Conductivity, XPS, NEXAFS, FTIR
DNB-Sachgruppe: 30 Chemie
Datum der Disputation: 20-Jul-2001
Entstanden am: Fachbereich Biologie, Chemie, Pharmazie, Freie Universität Berlin
Erster Gutachter: Prof. Dr. Manfred Hennecke
Zweiter Gutachter: Prof. Dr. Helmut Baumgärtel
Dritter Gutachter: Prof. Dr. Ulrich Abram, Prof. Dr. Klaus Christmann
Kontakt (Verfasser): iris.retzko@bam.de
Kontakt (Betreuer): manfred.hennecke@bam.de
Abgabedatum:23-Jul-2001
Freigabedatum:25-Jul-2001

 


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